金融界 2025 年 1 月 23 日音问，国度学问产权局消息显示，东莞市元素真空科技有限公司申请一项名为“多腔室溅射镀膜装备”的专利，公然号 CN 119332222 A ，申请日期为 2024 年 10 月 。

　　专利摘要显示，本创造涉及真空镀膜身手界限，越发是涉及一种多腔室溅射镀膜装备；搜罗镀膜装配、对镀膜装配举办上下料的送料装配以及对镀膜装配举办抽真空的抽真空编造；抽真空编造搜罗低真空泵组、高真空泵组以及冷冻组件，整体地，当举办第一次抽真空功课时，依序启动第一呆滞泵中式一罗茨泵事情后，也许对镀膜腔室内举办抽气并使镀膜腔室处于低真空的负压境遇中；当举办第二次抽真空功课时，连续启动第一分子泵举办抽气，同时启动冷冻管冷凝镀膜腔室内的水分子，也许对镀膜腔室举办抽气并使镀膜腔室处于高真空的负压境遇中。如斯机闭，有利于缩短抽真空的耗时，擢升抽真空的功课效能，进而擢升溅射镀膜装备的坐褥功课效能。

　　天眼查材料显示，东莞市元素真空科技有限公司，创建于2024年，位于东莞市，是一家以从事科技扩充和操纵效劳业为主的企业。企业注册资金1000万国民币。通过天眼查大数据剖析，东莞市元素真空科技有限公司共对表投资了1家企业，专利消息1条，别的企业还具有行政许可2个。